模數(shù)字型氣體質量流量控制器

技術參數(shù)

量程： 5sccm～3000slm(N2當量）

精度： ±1.0%F.S

呈程比： 50: 1 (流呈控制器） 100: 1 (流呈計）

重復精度： ±0.2%F.S

線性精度： ±0.5%F.S

環(huán)境溫度： 5～45°C

溫度系數(shù)：＜±0.1 % F. S/℃

壓力系數(shù)：＜±0.5%bar

泄漏率： <2*10^-8atm .ml/S

耐壓： 3MPa (流量小千30slm 可選6MPa)

供電： +15～24vdc

模擬信號： 0～5vdc 或4～20mA

數(shù)字信號： RS232、 RS485(Modbus-RTU)

連接方式：卡套式連接或VCR連接

     （連接尺寸根據(jù)客戶需求而定）