模擬型氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù)

量程： 5sccm～3000slm(N2當(dāng)量）

精度： ±1.0%F.S

量程比： 50: 1 (流量控制器） 100: 1 (流量計）

重復(fù)精度： ±0.2%F.S

線性精度： ±0.5%F.S

環(huán)境溫度： 5～45°C

溫度系數(shù)：＜±0.1%F.S/°C

壓力系數(shù)：＜±0.5%bar

泄漏率： <2* 10^-8satm. ml/S

耐壓： 3MPa (流量小于30slm 可選6MPa)

供電： +15～24vdc

模擬信號：0～5vdc 或4～20mA

連接方式：卡套式連接或VCR連接

（連接尺寸根據(jù)客戶需求而定）