數(shù)字型氣體質(zhì)量流量控制器

技術(shù)參數(shù)

量程:  5sccm～300oslm(N2當(dāng)量)

精度:  ±1.0%F.S

量程比:  50:1(流量控制器）100:1(流量計(jì)）

重復(fù)精度:  ±0.2%F.S

線性精度:  ±0.5%F.S

環(huán)境溫度:  5～45℃

溫度系數(shù):  <±0.1%F.S/℃

壓力系數(shù):  <±0.5%bar

泄漏率:  <2*10^-8atm.ml/S

耐壓:  3MPa（流量小于30slm可選6MPa)

供電:  24vdc或±15vdc

模擬信號(hào):  0～5vdc或4～20mA

數(shù)字信號(hào):  液晶顯示RS232RS、485(Modbus-RTU)

連接方式:  卡套式連接或VCR連接

(連接尺寸根據(jù)客戶需求而定)