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TwisTorr 74 FS渦輪分子泵

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蘇州利比特控制科技有限公司

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TwisTorr74FS安捷倫70L/s渦輪分子泵TwisTorr74FS將TiwsTorr拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承技術(shù)相結(jié)合，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性

詳細(xì)介紹

TwisTorr 74 FS

安捷倫 70 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 74 FS 將 TiwsTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承技術(shù)相結(jié)合，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。這款 70 L/s 渦輪分子泵借助渦輪增壓技術(shù)與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)之間的協(xié)同作用，可提供高真空性能。懸浮軸承確保低振動(dòng)和低噪音，適用于高靈敏度儀器和工作環(huán)境。
這款小型渦輪泵適用于多種應(yīng)用，包括研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。
TwisTorr 74 FS 可提供一體式控制器或機(jī)架控制器。

技術(shù)規(guī)格

技術(shù)規(guī)格
抽速	KF40	CFF 2.75"	ISO 63	CFF 4.5"
N2 He H2 Ar	44 L/s 33 L/s 28 L/s 40 L/s	50 L/s 40 L/s 31 L/s 51 L/s	60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s	60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s
*氣體通量 ()**	風(fēng)冷（環(huán)境溫度 35 °C）		水冷（水溫 25 °C/環(huán)境溫度 35 °C）
N2	130 sccm		130 sccm
Ar	80 sccm		80 sccm
() 前級(jí)泵 5 m3/h*
壓縮比與前級(jí)耐壓 ()**
N2 He H2 Ar	1.0 × 109 2.0 × 105 1.0 × 104 > 1.0 × 109		> 12 mbar > 10 mbar > 04 mbar > 14 mbar
() 前級(jí)耐壓是指渦輪分子泵仍能產(chǎn)生 100 壓縮比的壓力，該壓力在水冷模式下估算得出
極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）	< 5 × 10-10 mbar < 3.75 × 10-10 Torr)
抽氣口法蘭	KF 40、ISO 63、CFF 4.5"、CFF 2.75"
前級(jí)管道法蘭	KF 16 NW
轉(zhuǎn)速	70000 rpm（1167 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率）
啟動(dòng)時(shí)間	< 2 分鐘
推薦的前級(jí)泵	Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 Agilent IDP-3/IDP-7 渦旋式干泵
操作位置	任意位置
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
空氣相對(duì)濕度	0%–90%（無(wú)冷凝）
烘烤溫度	在入口法蘭處，ISO 為 80 °C（CFF 為 120 °C）
潤(rùn)滑油	性潤(rùn)滑
冷卻要求
風(fēng)冷	加壓空氣冷卻（環(huán)境溫度 5–35 °C）氣流溫度 +5° C 至 +35 °C
水冷	水溫 +15 °C 至 +25 °C 水流速 65 L/h
噪聲聲壓級(jí)（全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處）	40 dB(A)
儲(chǔ)存溫度	-40 °C 至 +70 °C
海拔	3000 m
重量 kg（磅）	ISO 63 CFF 4.5" CFF 2.75" KF 40		2.05 (4.50) 3.50 (7.70) 3.34 (7.35) 2.37 (5.22)
規(guī)范符合性
CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求