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Agilent TwisTorr 304 FS分子泵

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蘇州利比特控制科技有限公司

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AgilentTwisTorr304FS高真空渦輪分子泵采用Twistorr拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性

詳細(xì)介紹

Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證的軸承工作條件，從而能延長(zhǎng)工作壽命，縮短系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無(wú)需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。

技術(shù)規(guī)格


抽速：使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160：	N2：250 L/s N2：250 L/s	He：255 L/s He：255 L/s	H2：220 L/s H2：220 L/s	Ar：250 L/s Ar：250 L/s
全轉(zhuǎn)速氣載（使用推薦前級(jí)泵）環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C，50 L/h)	N2：170 sccm N2：170 sccm	Ar：110 sccm Ar：110 sccm
壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系：	N2：> 1 × 1011 N2：> 10 mbar	He：> 1 × 108 H2：> 10 mbar	H2：1.5 × 106 H2：> 4 mbar	Ar：> 1 × 1011 Ar：> 10 mbar
*極限真空（使用推薦的前級(jí)泵）** (5 m3/h)	< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10Torr)
抽氣口法蘭	8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF	ISO 160 ISO 100
前級(jí)管道法蘭	KF 16 NW（KF25 — 可選）
轉(zhuǎn)速	60000 rpm（1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率）
啟動(dòng)時(shí)間	小于 3 分鐘
推薦的前級(jí)泵	機(jī)械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110
工作位置	任意
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
空氣相對(duì)濕度	0%–90%（無(wú)冷凝）
烘烤溫度	抽氣口法蘭溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭溫度 80 °C（ISO 法蘭）
潤(rùn)滑油	性潤(rùn)滑
冷卻要求	風(fēng)扇冷卻（環(huán)境溫度 5–35 C）水冷（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強(qiáng)制水冷）
冷卻水	最小流速： 50 L/h (0.89 GPM)	溫度： +15 ℃ 至 +30 ℃	壓力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪聲聲壓級(jí)	在 1 米處，< 50 dB(A)
儲(chǔ)存溫度	-40 °C 至 +70 °C
海拔	3000 m
重量 kg（磅）：	泵 ISO 100： 5.5 (12.3)	泵 CFF 6 英寸： 7.5 kg (16.5)	泵 ISO 160： 5.7 kg (12.6)	泵 CFF 8 英寸： 9.7 kg (20.9)