蘇州固展機(jī)電設(shè)備有限公司
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適用于各類(lèi)供藥系統(tǒng)，吐出量達(dá)100L/min● 高速?zèng)_程高速?zèng)_程 (FS-80N達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。● 無(wú)污染設(shè)計(jì)過(guò)流端采用氟樹(shù)脂無(wú)污染構(gòu)造，使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng))。高流量及高吐出壓力吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗及CMP制程?！?傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
● 高速?zèng)_程
高速?zèng)_程 (FS-80N達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
● 無(wú)污染設(shè)計(jì)
過(guò)流端采用氟樹(shù)脂無(wú)污染構(gòu)造，使用的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng))。
高流量及高吐出壓力
吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
● 傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
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