適合于無塵室1000級以上的烘烤制程，產(chǎn)品在加熱過程中，容易產(chǎn)生氧化的加工物及防止微塵附著，均建議用此烤箱烘烤，以電子產(chǎn)業(yè)中的祛除水份、膠干燥、調(diào)質(zhì)、預(yù)熱為主。如IC封裝前后制程、晶圓烘烤、LCD配向應(yīng)用等…