全氟材質(zhì)、高精度、分辨率高達1.0mL/shot、精細流量調(diào)節(jié)的化學液補充系統(tǒng)●高分辨率最小流量達1mL/shot，為晶圓清洗過程中所需的化學凝結(jié)控制，提供更高的準確性。CFD系列能提供準確流量，防止過量添加或液體浪費。