羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用。在冶煉、石油化工、電工、電子等行