MicroXAM-800是用于3D表面形貌和粗糙度測(cè)量的非接觸式的光學(xué)輪廓儀。MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學(xué)輪廓儀，采用相位掃描干涉技術(shù)（PSI）對(duì)納米級(jí)特征進(jìn)行測(cè)量，以及采用垂直掃描干涉技術(shù)（VSI）對(duì)亞微米至毫米級(jí)特征進(jìn)行測(cè)量。MicroXAM進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù)，它采用SMART Acquire為新手用戶簡(jiǎn)化了程序設(shè)置，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對(duì)大臺(tái)階高度進(jìn)行高速測(cè)量。MicroXAM-800的程序設(shè)置簡(jiǎn)單靈活，可以進(jìn)行單次掃描或多點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量。
MicroXAM測(cè)量技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于測(cè)量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無(wú)關(guān)，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測(cè)量。測(cè)量區(qū)域可以通過(guò)將多個(gè)視場(chǎng)拼接為同一個(gè)測(cè)量結(jié)果而進(jìn)一步增加。 MicroXAM的用戶界面創(chuàng)新而簡(jiǎn)單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。
二、 功能
主要功能
臺(tái)階高度：納米級(jí)到毫米級(jí)的3D臺(tái)階高度
紋理：3D粗糙度和波紋度
形貌：3D翹曲和形狀
邊緣滾降：3D邊緣輪廓測(cè)量
缺陷復(fù)檢：3D缺陷表面形貌
技術(shù)特點(diǎn)
針對(duì)納米級(jí)到毫米級(jí)特征的相位和垂直掃描干涉測(cè)量；
SMART Acquire簡(jiǎn)化了采集模式并采用已知的程序設(shè)置的測(cè)量范圍輸入；
Z-stitching干涉技術(shù)采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個(gè)縱向(z)距離很大的表面；
XY-stitching可以將大于單個(gè)視野的連續(xù)樣本區(qū)域拼接成單次掃描；
使用腳本簡(jiǎn)化復(fù)雜測(cè)量和工作流程分析的創(chuàng)建，實(shí)現(xiàn)了測(cè)量位置、調(diào)平、過(guò)濾和參數(shù)計(jì)算的靈活性；
利用已知技術(shù)，從其他探針和光學(xué)輪廓儀轉(zhuǎn)移算法。
技術(shù)能力
Z向分辨率：0.2nm（PSI）
RMS重復(fù)性：0.1nm
臺(tái)階重復(fù)性：0.1nm或1%臺(tái)階高度
三、應(yīng)用
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
電力設(shè)備
MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
醫(yī)療設(shè)備
精密表面
四、其他
部分用戶
University Paris Sud
Lanzhou Institute of Chemical Physics
Koszalin University of Technology
Tianjin University
University of Alabama
Shanghai Jiaotong University
北京航空航天大學(xué)
南京航空航天大學(xué)
江蘇大學(xué)
清華大學(xué)
福州大學(xué)
