產(chǎn)品介紹
程控加熱型勻膠機專業(yè)生產(chǎn)廠家,多年加熱型勻膠機 觸屏旋涂儀生產(chǎn)經(jīng)驗,恒溫顯影機,恒溫加熱機,全自動式分體式機,專業(yè)研發(fā),可按需定制,生產(chǎn)能力強,有研發(fā)定制能力,程序控制,簡易操作。適用于微電子,半導體,制版,新能源,生物材料,薄膜,光學及表面涂覆工藝
勻膠機產(chǎn)品參數(shù):
1、兼容基片尺寸: 可載基片最小Φ10mm Φ35mm
2、速度可調(diào)范圍: 100-5000RPM/S
3、減速可調(diào)范圍: 100-3000RPM/S
4、轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
5、旋轉(zhuǎn)時間范圍:1-3000S
6、加速可控范圍: 100-5000RPM/S
7、可編程10組5步程序
8、控溫范圍:室溫-150度
9、有效加熱區(qū)域:直徑50mm
10、熱板溫度均勻性: ±1-2%℃
11、外形尺寸: 360mm(D)x270mm(Wx260mm(H)
12、電源入: 220V 550W
13、重量: 12KG
程控勻膠機產(chǎn)品特點
1,結構緊湊,適合直接放于手套箱內(nèi)操作;
2,7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設置一鍵啟動按鈕,提作方便;可在加熱的同時,進行單步和多步勻膠操作;也可勻膠后直接進行烤膠
3,工業(yè)級馬達,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),運行穩(wěn)定;
4,溶劑PC透明蓋;
5,設置有開機密碼功能,提高設備操作安全性
勻膠機選件:
可程控自動點膠裝置(多種30-50ml,360ml,1GL)可編程的吮吸系統(tǒng)(Programmable Suckback System) 可以防止多余的膠從管嘴溢出。 可加裝背面清洗、去邊裝置和噴涂顯影裝置.產(chǎn)品可加裝噴嘴,可同時適用多種材料的光刻材料及去離子水清洗功能。 加裝自動點膠裝置的勻膠機。
勻膠機/旋涂儀是什么設備?
勻膠機/旋涂儀有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機
總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。
勻膠機盡管是一款原理比較簡單的實驗室小型儀器,但影響勻膠效果的卻有勻膠速度(speed)、勻膠時間(time)、勻膠加速度(acceleration)、控制精度(accuracy)等因素。
其中最重要的就是控制精度(accuracy),沒有控制精度,其他的設置都是虛無。這也是某些品牌勻膠機最致命的問題所在。
深圳市邦企創(chuàng)源科技提供的HET系列勻膠機,采用伺服電機及觸屏控制系統(tǒng),實現(xiàn)對轉(zhuǎn)速、時間和加速度的精確控制,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復性< 1rpm,實現(xiàn)勻膠過程的高精度和高重復性。