VPSA制氧主要設(shè)備包括：羅茨鼓風(fēng)機(jī)、濕式羅茨真空泵、吸附器、氧氣緩沖罐、切換閥門、儀表控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、儀表空氣系統(tǒng)等九部分組成。

原料空氣經(jīng)過(guò)濾器去除機(jī)械雜質(zhì)后，經(jīng)羅茨鼓風(fēng)機(jī)加壓后進(jìn)入空氣冷卻器中冷卻到30~40°C，從吸附器下部進(jìn)入。為了降低噪音，羅茨鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)出口都裝有消音器。

吸附器內(nèi)部裝有兩種吸附劑。床層底層裝13X分子篩，用于吸附空氣中水分、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)成分。床層中層裝L分子篩，用于空氣中氧氣和氮?dú)獾姆蛛x。

空氣進(jìn)入吸附器后，經(jīng)過(guò)13×分子篩床層后，空氣中水分、二氧化碳等雜質(zhì)被分子篩吸附。清潔的空氣進(jìn)入L分子飾床層時(shí)，空氣中領(lǐng)氣被吸附。大量末被吸附的氧氣和少量領(lǐng)氣隨氣流從吸附器的出口端流出 ，即產(chǎn)品氣。當(dāng)產(chǎn)品氧氣純度開始下降，說(shuō)明Li分子篩氮?dú)馕搅窟_(dá)到飽和。此時(shí)，停止向吸附器供空氣。隨后吸附器降壓，氣流從吸附器下部流出。隨著床層壓力降低，Li分子篩吸附的氮?dú)獗唤馕馕鼩庥闪_茨真空泵抽出，并排入大氣。當(dāng)吸附器達(dá)到一定得真空度，分子篩恢復(fù)吸附能力。

為了連續(xù)獲得氧氣產(chǎn)品，必須再有至少一個(gè)吸附器;同一時(shí)間一個(gè)吸附器吸附產(chǎn)氧，另外的吸附器充壓或真空解吸再生，交替使用。吸附器間的工況轉(zhuǎn)換是由氣動(dòng)切換閥來(lái)實(shí)現(xiàn)的。根據(jù)設(shè)定的時(shí)間程序，PLC輸出電訊號(hào)，控制電磁閥動(dòng)作，電磁閥與儀表空氣源連接，電磁閥動(dòng)作后，儀表空氣進(jìn)入氣動(dòng)切換閥氣缸，使氣動(dòng)切換閥開或者關(guān)閉。

吸附器上部流出的產(chǎn)品氣入氧氣緩沖罐，然后進(jìn)入氧壓機(jī)吸氣口。氧氣緩沖罐起平衡產(chǎn)品氣壓力的作用。