產(chǎn)品

683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥設(shè)計(jì)用于調(diào)節(jié)和控制工業(yè)過程中的排氣流量。它提供精確可靠的廢氣節(jié)流，實(shí)現(xiàn)高效的過程控制。

特征

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

?設(shè)計(jì)符合ODVA規(guī)范，確保無縫集成

?緊湊的壓力控制系統(tǒng)集成了節(jié)流閥組件內(nèi)的控制、通信和閥門驅(qū)動(dòng)電路

?兩個(gè)內(nèi)置報(bào)警跳閘點(diǎn)承受狀態(tài)指示器提供硬線安全聯(lián)鎖-可編程用于壓力、位置，或設(shè)定點(diǎn)限制

?壓力控制（PID）和擋板位置控制的可配置操作模式

?數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)傳輸提供了對系統(tǒng)噪音的靈活性

?智能屬性提供了對關(guān)鍵設(shè)置和運(yùn)行時(shí)間參數(shù)的監(jiān)測和控制

?的線性閥門傳輸特性提供了平滑的線性壓力控制

?有流行的ISO法蘭樣式可供選擇?密封尺寸最多可提供2“孔683B閥門解決方案ISCONTINUED

MKS 683型智能排氣節(jié)流閥專為需要簡單壓力控制系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)集成應(yīng)用而設(shè)計(jì)。683通過一個(gè)緊湊的“附加”電子模塊將所有控制、通信和驅(qū)動(dòng)電路集成到MKS 253型節(jié)流閥總成上，從而無需安裝單獨(dú)的壓力控制電子模塊。第二代PID控制算法可以進(jìn)行調(diào)整，以驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)快速設(shè)定點(diǎn)，并在無操作員參與的情況下確保可重復(fù)的工藝配方?；芈氛{(diào)諧參數(shù)可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)系統(tǒng)參數(shù)的變化。

683型節(jié)流閥有兩種模式：擋板定位或壓力控制，其中任何一種都可以通過網(wǎng)絡(luò)通信接口由用戶激活。所有可調(diào)整的設(shè)置參數(shù)、運(yùn)行時(shí)操作和診斷信息都可以通過網(wǎng)絡(luò)通信接口獲得。683型還包括可調(diào)節(jié)的軟啟動(dòng)功能，用于改變設(shè)定值，以限度地減少湍流，從而減少室內(nèi)的顆粒分布。兩個(gè)報(bào)警繼電器輸出可在規(guī)定的壓力、閥門位置或設(shè)定點(diǎn)偏差設(shè)置下調(diào)節(jié)跳閘。683型被設(shè)計(jì)為與MKS Digital Baratron®電容式壓力計(jì)兼容，以提供通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行閉環(huán)壓力控制所需的所有組件?；蛘撸?83型將接受來自傳統(tǒng)模擬Baratron電容式壓力計(jì)的0-10 VDC信號，用于閉環(huán)控制。這種下游壓力控制技術(shù)提供了寬的動(dòng)態(tài)范圍，適用于所有類型的泵，提供快速響應(yīng)，并能耐受大多數(shù)廢氣。

683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥是一款高質(zhì)量的閥門，旨在調(diào)節(jié)工業(yè)應(yīng)用中的廢氣流量。它提供了對氣體流量的精確控制，從而在各種過程中實(shí)現(xiàn)性能和效率。該閥門的建造考慮到了耐用性和可靠性，即使在苛刻的環(huán)境中也能確保長期運(yùn)行。其簡單的安裝和維護(hù)程序使其成為工業(yè)設(shè)置的方便選擇。

應(yīng)用領(lǐng)域

683B-23795 MKS排氣節(jié)流閥可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空系統(tǒng)、工業(yè)過程控制等領(lǐng)域。