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在選購(gòu)水環(huán)式真空泵時(shí)需要注意的事項(xiàng)
1,真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求.如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg.通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí).
2,正確地選擇真空泵的工作點(diǎn).每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg.因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作.又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好.
3,真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量.
4,正確地組合真空泵.由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求.如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度.另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用.
5,真空設(shè)備對(duì)油污染的要求.若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等.如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱,障板,擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求.
6,了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?；覊m,有無(wú)腐蝕性等.選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵.如果氣體中含有蒸氣,顆粒,及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器,除塵器等.
7,真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何.如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外.
8,真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響.若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施.
關(guān)鍵詞：真空泵
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