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真空泵油

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現(xiàn)場愛德華EH2600 EH1200羅茨泵維修 東莞磊博提供

點擊次數(shù):538 發(fā)布時間:2015-1-8

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機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
 

  • 半導(dǎo)體制程
  • 真空蒸餾
  • 真空包裝
  • 鋼脫氣
  • 薄膜覆層
  • 真空冶金
  • 低密度風(fēng)洞
  • 空間模擬
  • 真空浸漬
  • 油干燥和脫氣
  • 制藥冷凍干燥
  • CO2 激光

功能和優(yōu)勢
 

  • 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
  • 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
  • EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
    • 安靜的無振動運(yùn)行。
    • 牢靠且防腐蝕。
    • *的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
  • 防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
  • 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到zui低。
  • 軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要zui高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
  • 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)
 

 型號 EH250 EH500 EH1200 EH2600 EH4200
排量(工作容積) 310 m3h-1 / 185 ft3min-1 505 m3h-1 / 300 ft3min-1 1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速 240 m3h-1 / 141 ft3min-1 350 m3h-1 / 206 ft3min-1 840 m3h-1 / 495 ft3min-1 1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差 0-180 mbar/0-140 Torr 0-110 mbar/0-83 Torr 0-90 mbar/0-68 Torr 0-80 mbar/0-60 Torr 0-60 mbar / 0-45 Torr
進(jìn)氣口連接 ISO63 ISO100 ISO160 ISO160 ISO250
出口連接 ISO40 ISO63 ISO100 ISO100 ISO100
轉(zhuǎn)速 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm 0-2900 rpm
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr 0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr 1000 mbar/760 Torr
*的前級泵 GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 GV80,E2M80 GV160、GV250、
E2M80、E2M175
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
GV400、E2M275
電機(jī)功率          
碳?xì)浠衔?/td> 2.2 kW / 3 hp 2.2 kW/3 hp 3 kW/4 hp 11 kW/15 hp 11 kW/15 hp
PFPE 1.5 kW / 2 hp 1.5 kW/2 hp 3 kW/4 hp 7.5 kW/10 hp 11 kW/15 hp
ATEX 2.2 kW 2.2 kW 3 kW 11 kW 11 kW
防爆 3 hp 3 hp 4 hp 15 hp 15 hp
環(huán)境溫度范圍          
工作 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F 5 至 40°C/40 至 104°F
存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F -10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH 90% RH
*用油 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20 Ultragrade 20
油容量          
齒輪箱     1.25 l/1.3 qt 3.5 l/3.3 qt 3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 1.5 l/1.6 qt 6.5 l/7 qt 6.5 l/7 qt
軸封儲油器 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 0.125 l/0.25 qt 1.5 l/1.4 qt 1.5 l/1.4 qt
重量 61 kg/134 lb 74 kg/163 lb 74 kg/163 lb 308 kg/679 lb









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