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愛德華EH4200 EH2600羅茨泵維修與保養(yǎng) 技術(shù)參數(shù)
點擊次數(shù)：5586 發(fā)布時間：2015-1-8
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機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h-1/1776ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：
安靜的無振動運(yùn)行。
牢靠且防腐蝕。
*的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到zui低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要zui高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
型號EH250EH500EH1200EH2600EH4200
排量（工作容積）310m3h-1/185ft3min-1505m3h-1/300ft3min-11195m3h-1/715ft3min-12590m3h-1/1525ft3min-14140m3h-1/2440ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速240m3h-1/141ft3min-1350m3h-1/206ft3min-1840m3h-1/495ft3min-11750m3h-1/1031ft3min-13100m3h-1/1825ft3min-1
泵的壓力差0-180mbar/0-140Torr0-110mbar/0-83Torr0-90mbar/0-68Torr0-80mbar/0-60Torr0-60mbar/0-45Torr
進(jìn)氣口連接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
出口連接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
轉(zhuǎn)速0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm0-2900rpm
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr0-1000mbar/0-760Torr
zui大出口壓力1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr1000mbar/760Torr
推薦的前級泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、
E2M80、E2M175GV250、GV400、
E2M175、E2M275GV400、E2M275
電機(jī)功率
碳?xì)浠衔?.2kW/3hp2.2kW/3hp3kW/4hp11kW/15hp11kW/15hp
PFPE1.5kW/2hp1.5kW/2hp3kW/4hp7.5kW/10hp11kW/15hp
ATEX2.2kW2.2kW3kW11kW11kW
防爆3hp3hp4hp15hp15hp
環(huán)境溫度范圍
工作5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F5至40°C/40至104°F
存儲-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F-10至80°C/14至176°F
zui大工作濕度90%RH90%RH90%RH90%RH90%RH
推薦用油Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20Ultragrade20
油容量
齒輪箱1.25l/1.3qt3.5l/3.3qt3.5l/3.3qt
聯(lián)軸器蓋1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt1.5l/1.6qt6.5l/7qt6.5l/7qt
軸封儲油器0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt0.125l/0.25qt1.5l/1.4qt1.5l/1.4qt
重量61kg/134lb74kg/163lb74kg/163lb308kg/679lb