產(chǎn)品展示
立式CZ系列
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
性能 型號 | CZ-1000 | CZ-1200 | CZ-1400 | CZ-1600 | CZ-1800 | CZ-2000 |
鍍膜室尺寸 | Ф1000 ×H1250mm | Ф1200 ×H1450mm | Ф1400 ×H1950mm | Ф1600 ×H1950mm | Ф1800 ×H1950mm | Ф2000 ×H1950mm |
蒸發(fā)功率 | 5KW | 20KW | 20KW | 25KW | 30KW | 35KW |
整機(jī)總功率 | 23KW | 38KW | 58KW | 65KW | 85KW | 95KW |
極限真空 | 8.0×10-4Pa | |||||
真空室結(jié)構(gòu) | 立式門、立式單開門、臥式單開門、后置真空獲得系統(tǒng) | |||||
電源類型 | 電阻蒸發(fā)電源、離子轟擊電源 | |||||
抽氣時(shí)間 (空載、干凈容體) | 5.0×10-2Pa≤6分鐘 | |||||
鍍膜室材質(zhì) | 優(yōu)質(zhì)碳鋼或不銹鋼材質(zhì) | |||||
真空獲得系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵或分子泵+羅茨泵+機(jī)械泵+維持泵(型號可根據(jù)客戶的需求進(jìn)行配置) | |||||
冷卻方式 | 水循環(huán)冷卻方式,另需配冷卻水塔或工業(yè)冷水機(jī)。 | |||||
工件轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)方式 | 手動(dòng)/自動(dòng)一體化方式、觸摸屏操作、PLC控制 | |||||
報(bào)警及保護(hù) | 對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警,并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。 | |||||
其他技術(shù)參數(shù) | 水壓≥0.2MPa、水溫≤25℃、氣壓0.5-0.8MPa | |||||
備注 | 鍍膜設(shè)備的具體配置可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。 |
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1.成膜速度快0.1-50um/min,效率高,用掩??梢垣@得清晰圖形;
2.設(shè)備比較簡單,操作容易;
3.制成的薄膜純度高,厚度可較準(zhǔn)確控制
4.薄膜生長機(jī)理較簡單
5主要結(jié)構(gòu):真空室;蒸發(fā)源;基板;基板加熱器及測溫計(jì)
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