上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 新款氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340,應(yīng)用于某新成立企業(yè)-光子型探測(cè)器(簡(jiǎn)稱光探測(cè)器, photon detector, PD)檢漏.

光子型探測(cè)器（ photon detector） 利用外光電效應(yīng)或內(nèi)光電效應(yīng)制成的輻射探測(cè)器，也稱光電型探測(cè)器。探測(cè)器中的電子直接吸收光子的能量，使運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化而產(chǎn)生電信號(hào)，常用于探測(cè)紅外輻射和可見(jiàn)光。

光探測(cè)器的檢漏方法可歸納入電子元件類檢測(cè)方法，即“背壓法"。由于電子元件體積小，且無(wú)法抽真空或直接充入氦氣，而氦檢又離不開氦氣作為示蹤氣體。這時(shí)需要通過(guò)一種間接的辦法“滲入"氦氣，具體做法如下。

1. 將被檢電子元件放入保壓罐，壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定
2. 取出電子元件，使用空氣或氮?dú)獯祾弑砻婧?/SPAN>
3. 將電子元件放入真空測(cè)試罐，如上圖，測(cè)試罐連接檢漏儀 ASM340
4. 啟動(dòng)檢漏儀 ASM340，開始檢測(cè)

事實(shí)上該企業(yè)在選擇檢漏儀時(shí)曾對(duì)比了上海伯東的 Adixen by Pfeiffer ASM 340 和 Varian by Agilent VS 系列檢漏儀，zui終從抽速、檢測(cè)精度和市場(chǎng)口碑等方面確定了 ASM 340。

ASM 340 檢漏儀由德國(guó) Pfeiffer *設(shè)計(jì)和制造，其配備的 Pfeiffer 分子泵廣泛應(yīng)用于友廠，如英福康 Inficon UL1000 檢漏儀、愛(ài)發(fā)科 Ulvac Heliot 檢漏儀、布魯克 Bruke 醫(yī)療設(shè)備、島津 Shimadzu 分析儀器等。

新款氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 特點(diǎn)：
1. 前級(jí)泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦抽速 2.5 l/s

3. 檢漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸嗅模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）

5. 集成SD卡，方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng)，降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件，如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

Pfeiffer 還有干式檢漏儀，如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 檢漏儀 ，在半導(dǎo)體行業(yè)普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推車的 ASM 380 檢漏儀等。而工作臺(tái)式檢漏儀 ASM 1002 提供可選腔體讓諸如電子元件這樣的小產(chǎn)品得以快速方便的檢漏。

Pfeiffer 檢漏儀有廣泛的應(yīng)用，如科研杜瓦瓶檢漏、工業(yè)鍍膜機(jī)檢漏、電廠檢漏、消防器材檢漏、半導(dǎo)體 PECVD MOCVD 檢漏等。詳細(xì)的應(yīng)用案例請(qǐng)登錄 www.hakuto-vacuum。。ｃｎ 查看。

上海伯東提供生產(chǎn)與檢測(cè)配套方案，如給某磁控濺射企業(yè)配置了美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子槍輔助鍍膜和 ASM 340 腔體檢漏；給某熱管企業(yè)配置了 ASM 340 檢漏儀和保壓罐、真空測(cè)試罐等。

伯東公司代理 Pfeiffer 產(chǎn)品已有40余年，年?duì)I業(yè)額超過(guò)13億美金，在中國(guó)上海、中國(guó)臺(tái)灣、日本、泰國(guó)等國(guó)家和地區(qū)建有維修據(jù)點(diǎn)。擁有一套完善的維修設(shè)備和備品配件，提供快速維修服務(wù)。

上海伯東主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品：德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空計(jì),真空規(guī)管; 氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀,四級(jí)桿質(zhì)譜儀;以及美國(guó) HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī),Gamma 離子泵和美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源等.

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