上海計捷機械工程技術(shù)有限公司
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更新時間：2024-12-17 19:09:04瀏覽次數(shù)：54次
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TORRI多級羅茨真空泵可為抽空loadlock腔體提供結(jié)構(gòu)緊湊、高效節(jié)能的解決方案
TORRI 多級羅茨真空泵可為抽空 load lock 腔體提供結(jié)構(gòu)緊湊、高效節(jié)能的解決方案。
該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時間等特點。
工作原理
TORRI BD 真空泵依據(jù)久經(jīng)考驗的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子原理進行工作。通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運動，泵送介質(zhì)被一級級輸送至出口。
由于轉(zhuǎn)子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造，它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。此外，壓縮腔內(nèi)無需添加任何潤滑液或工作液。
轉(zhuǎn)子由直接耦合連接的同步水冷型電機驅(qū)動。
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