冉昆真空科技（上海）股份有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2024-11-24 05:29:35瀏覽次數(shù)：73次
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單晶爐應(yīng)用概述
單晶爐是主要用于生產(chǎn)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。 設(shè)備主要分成兩個(gè)部分：
1.在惰性氣體填充環(huán)境內(nèi)，多晶硅等多晶材料將通過石墨加熱器進(jìn)行融化。
2.設(shè)備內(nèi)部安裝提拉頭，將對(duì)融化的多晶材料進(jìn)行直拉并最終生產(chǎn)出產(chǎn)品。
單晶爐生產(chǎn)過程需輔助配套真空機(jī)組，針對(duì)單晶爐生產(chǎn)工藝需求，真空機(jī)組需求進(jìn)行專門配置和定制化設(shè)計(jì)以完善符合單晶爐應(yīng)用工藝。
ReM 定制化單晶爐真空機(jī)組
冉昆真空科技提供的單晶爐設(shè)備配套真空機(jī)組以高效羅茨螺桿真空機(jī)組作為主體，機(jī)組后端配置消音器可有效降低設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的噪音。 機(jī)組前端配置過濾器，該裝置可以選配。 過濾器的添加將有效降低單晶爐中潛在的粉塵顆粒進(jìn)泵的幾率。 客戶可根據(jù)工況實(shí)際情況進(jìn)行選配。
主體設(shè)備常規(guī)配置：
| 序號(hào) | 泵種 | 設(shè)備型號(hào) | 電機(jī)功率，KW | 電機(jī)形式 |
| 1 | 羅茨真空泵 | ZJ-150D | 4 | 水冷封閉電機(jī) |
| 2 | 干式螺桿真空泵 | RMD-200D | 7.5 | 水冷封閉電機(jī) |
如上機(jī)組型號(hào)： RMDJL150-T
結(jié)合單晶爐運(yùn)行特點(diǎn)，機(jī)組配置針對(duì)電氣控制、保護(hù)裝置。 機(jī)組可有效對(duì)運(yùn)行溫度水平進(jìn)行監(jiān)控。。當(dāng)出現(xiàn)高溫情況，將分別進(jìn)行報(bào)警和停機(jī) 另，機(jī)組配置定制化電控箱，可有效進(jìn)行機(jī)組控制等操作。 同時(shí)機(jī)組真空度、氮?dú)鈿庠唇钥赏ㄟ^調(diào)節(jié)閥、壓力表分別進(jìn)行控制和監(jiān)控。另，選配方面針對(duì)機(jī)組前端過濾器，機(jī)組可通過進(jìn)行壓差檢測(cè)，并實(shí)時(shí)對(duì)濾芯堵塞狀態(tài)進(jìn)行提示和報(bào)警。
RMDJL150-T 型羅茨螺桿真空機(jī)組性能參數(shù)列表：
| 機(jī) 組 型 號(hào) | 單位 | RMDJL150-T | |
|
抽 氣 速 率 | L/S | 175/210 | |
| m3/h | 630/756 | ||
|
極 限 真 空 | Pa | ≤0.2/0.1 | |
| Torr | ≤1.5X10-3/≤7.5X10-4 | ||
|
水冷密封電機(jī) | 頻率 | Hz | 50/60 |
| 電壓 | V | 380 | |
| 功率 | kW | 3+4.5 | |
|
轉(zhuǎn)速 | 羅茨真空泵 ZJ-150D | rpm |
2900/3480 |
| 干式螺桿真空泵 RMD-200D | rpm | 2900 | |
|
氮?dú)?/span> | 壓力 | MPa | 0.05-0.1 |
| 流量 | l/min | 6-20 | |
|
冷卻水 | 壓力 | MPa | 0.2-0.4 |
| 壓力差 | MPa | 0.1 | |
| 溫度 | ℃ | 10-30 | |
| 流量 | l/min | 3-5 | |
| 進(jìn)氣口徑 | mm | DN100 | |
| 排氣口徑 | mm | DN40 | |
| 重 量 | Kq | 600 | |
| 噪 音 | dB（A） | 72 | |
| 外形尺寸（長×寬×高） | mm | 1000×660 ×1050 | |
RMDJL150-T 型螺桿真空機(jī)組供貨范圍
| 序號(hào) | 設(shè)備名稱 | 數(shù)量 | 單位 | 備注 |
| 機(jī)械部分 |
| |||
| 1 | ZJ-150D羅茨真空泵 | 1 | 臺(tái) |
|
| 2 | RMD-200D 螺桿真空泵 | 1 | 臺(tái) |
|
| 3 | 減震墊 | 4 | 個(gè) |
|
| 4 | 機(jī)組底座 | 1 | 套 | 配置萬向輪 |
| 5 | 消音器 | 1 | 個(gè) |
|
| 6 | 副水箱 | 1 | 個(gè) |
|
| 7 | 過濾器 | 1 | 臺(tái) | 可選配置 |
| 電氣閥門部分 | ||||
| 8 | 水冷封閉電機(jī) | 2 | 臺(tái) |
|
| 9 | 水溫檢測(cè)器 | 1 | 個(gè) |
|
| 10 | 氮?dú)鈮毫Ρ?/span> | 1 | 個(gè) |
|
| 11 | 壓力調(diào)節(jié)閥 | 1 | 個(gè) |
|
| 12 | 電磁壓差閥 | 1 | 個(gè) | 可選配置 |
| 13 | 電控箱 | 1 | 個(gè) | 可選配置 |
| 管路部分 | ||||
| 14 | 電源、氣源、水路接口 | 1 | 套 |
|
| 15 | 波紋管（DN40） | 1 | 個(gè) |
|
| 16 | 波紋管（DN100） | 1 | 個(gè) | 可選配置 |
| 17 | 過濾器電磁壓差閥 | 1 | 個(gè) | 可選配置 |
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