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ModelM3300VM3300A流量范圍(N2)100slpm~300slpm100slpm~300slpm響應時間精準度1%FS1%FS重復精度0
Model | M3300V | M3300A |
流量范圍(N2) | 100slpm ~ 300slpm | 100slpm ~ 300slpm |
響應時間 | <2>2> | <2>2> |
精準度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重復精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐壓 | <15>15> | <15>15> |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 99% | 2~ 99% |
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