上海納騰儀器有限公司
會(huì)員1.png)
上海納騰儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)P17
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
農(nóng)機(jī)網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-01-12 11:47:33瀏覽次數(shù)：64次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 農(nóng)機(jī)網(wǎng)暫無(wú)信息 |
P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀，是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界，支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)，因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 通過(guò)點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡(jiǎn)便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測(cè)量。 并通過(guò)圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
二、功能
設(shè)備特點(diǎn)
臺(tái)階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無(wú)需圖像拼接
視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)
圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化
主要應(yīng)用
臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
太陽(yáng)能
MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
三、應(yīng)用案例
臺(tái)階高度
P-17可以提供納米級(jí)到1000μm的2D和3D臺(tái)階高度的測(cè)量。 這使其能夠量化在蝕刻，濺射，SIMS，沉積，旋涂，CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-17具有恒力控制功能，無(wú)論臺(tái)階高度如何都可以動(dòng)態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測(cè)量穩(wěn)定性并且能夠精確測(cè)量諸如光刻膠等軟性材料。
紋理：粗糙度和波紋度
P-17提供2D和3D紋理測(cè)量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測(cè)量值分為粗糙度和波紋度部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
外形：翹曲和形狀
P-17可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。P-17還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
P-17能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測(cè)量樣品翹曲。 然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過(guò)在直徑達(dá)200mm的樣品上通過(guò)單次掃描測(cè)量，無(wú)需圖像拼接。3D應(yīng)力的測(cè)量采用多個(gè)2D掃描，并結(jié)合θ平臺(tái)在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對(duì)整個(gè)樣品表面進(jìn)行測(cè)量。
缺陷復(fù)檢
缺陷復(fù)查用于測(cè)量如劃痕深度之類的缺陷形貌。 缺陷檢測(cè)設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫(xiě)入KLARF文件。 “缺陷復(fù)檢"功能讀取KLARF文件、對(duì)準(zhǔn)樣本，并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測(cè)量。
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
NX-3DM 可旋轉(zhuǎn)全自動(dòng)原子力顯微鏡
NX-3DM 面議
農(nóng)機(jī)網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
