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Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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公司名稱蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)pfeiffer普
所在地蘇州市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/1/31 11:03:56
訪問(wèn)次數(shù)480

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蘇州震拓自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事銷售真空產(chǎn)品及配件、進(jìn)口工業(yè)品及環(huán)保型清洗設(shè)備，以及提供了專業(yè)維修技術(shù)服務(wù)的公司。　　蘇州震拓成立于2009年，公司秉承信賴、創(chuàng)新、服務(wù)、快捷的方式致力于提供高品質(zhì)的工廠電子，工業(yè)，機(jī)電類產(chǎn)品。依靠科技要求發(fā)展，不斷為用戶提供滿意的高科技產(chǎn)品，是我們始終不變的追求?！　√K州震拓現(xiàn)銷售的產(chǎn)品包括：（1）真空產(chǎn)品：edwards愛德華、agilent安捷倫、寧波ulvac愛發(fā)科、日本ulvac愛發(fā)科、mitsuvac三津海、alcatel阿爾卡特、leybold萊寶、anest iwata巖田、pfeiffer普發(fā)、bush普旭、KYKY中科科儀等真空產(chǎn)品。（2）真空管件、配件：真空接頭，真空閥，法蘭，波紋管，卡箍，密封件，過(guò)濾器等。（3）進(jìn)口工業(yè)品：美國(guó)威爾克森wilkerson、皮爾茲PILZ、克利帕Clippard、丹佛斯Danfoss、mac等數(shù)多種歐美進(jìn)口工業(yè)品。（4）環(huán)保型清洗設(shè)備：鋼網(wǎng)清洗設(shè)備、夾具清洗設(shè)備、PCBA清洗設(shè)備、半導(dǎo)體IGBT清洗設(shè)備、Tray清洗設(shè)備、碳?xì)淝逑丛O(shè)備等。　　蘇州震拓因廣大客戶需求，還提供有真空設(shè)備維修、清洗設(shè)備維修以及閥門維修的技術(shù)服務(wù)?！　√K州震拓以的質(zhì)量和價(jià)格得到廣大客戶的好評(píng)，如您有任何需要請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們將盡全力為您服務(wù)，您的每一次詢價(jià)我們都將倍加珍惜和重視。

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類型：無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號(hào)：APA 302描述：普發(fā)污染管理解決方案

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境產(chǎn)品信息

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APA 302 無(wú)菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
用于無(wú)菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

在潔凈室環(huán)境下，APA 302 是用于芯片制造的在線監(jiān)測(cè)工具。這臺(tái)革新性設(shè)備可以測(cè)量 FOUP 和周圍環(huán)境中的空氣分子污染物（簡(jiǎn)稱 AMC）。該測(cè)量實(shí)時(shí)發(fā)生，在 ppbv 范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。

有效的污染監(jiān)測(cè)
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時(shí)間內(nèi)，在 FOUP 槽對(duì)槽的空間里被釋放出來(lái)。而這些元素會(huì)在圖樣晶圓上生成晶體生長(zhǎng)，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過(guò) FOUP 過(guò)濾器來(lái)對(duì) AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過(guò)離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測(cè)、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測(cè)量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒有 FOUP 時(shí)，APA 302 會(huì)監(jiān)控周圍的潔凈室環(huán)境。

FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動(dòng)校準(zhǔn)功能，它會(huì)在定期的時(shí)間間隔內(nèi)被激活。對(duì)于在 APA 中對(duì) AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無(wú)晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動(dòng)傳送，也可通過(guò) 2 個(gè)負(fù)載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來(lái)傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時(shí)間，污染的增加量能立刻被察覺到，且產(chǎn)量增加。

關(guān)鍵詞：過(guò)濾器