雙目觀察頭可以0-30°轉(zhuǎn)動,以調(diào)整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適
獨立色差校正目鏡,高眼點20MM,超大視場24
采用長工作距離無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡,提供優(yōu)異的成像質(zhì)量,關(guān)于物鏡的技術(shù)參數(shù)可參照工業(yè)高倍APO物鏡
帶1XNUV,1XNIR,2X鏡管,三組鏡管之間可以根據(jù)需要進行切換,其中1XNUV對355NM和532NM波長進行了優(yōu)化,1XNIR對532NM和1064NM波長進行了優(yōu)化,當(dāng)使用這三個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率.
調(diào)焦機構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適,工作可靠,zui大可承受45磅（20.4KG）,確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作
物鏡轉(zhuǎn)換器可調(diào)中裝置,可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中
主體上留有偏光插孔,可進行偏光觀察
目視和攝像光路切換分光比有0: 100和50: 50兩檔
照明系統(tǒng)采用同軸垂直照明系統(tǒng),光源采用外置冷光源
裝有激光安全定位銷,留有激光安全濾色片的位置,并提供補償片,可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上
主體部分可以安裝在探測工作站上,進行硅片測試